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使用renishaw激光干涉儀時應(yīng)該注意的幾個要點

點擊次數(shù):1872 更新時間:2021-03-16
  renishaw激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn),對數(shù)控設(shè)備的位置精度、幾何精度進行精密測量的高精度測量儀器。儀器測量的是距離、以及衍生出來的平行度、垂直度、直線度、圓度,測量的精度可高達(dá)0.2微米/米,但同時對環(huán)境也較為挑剔。
  
  激光精度受環(huán)境影響較大,*的測量精度必須依靠較為穩(wěn)定車間環(huán)境,所以激光干涉儀要得出真實的測量數(shù)據(jù)必須和機床充分預(yù)熱,車間環(huán)境也參考儀器使用的環(huán)境。
  
  激光干涉儀初步調(diào)整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調(diào)整瞄準(zhǔn)光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準(zhǔn)反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個過程,往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。
  
  renishaw激光干涉儀的使用注意事項
  
  1、儀器必須定人保管,技術(shù)組人員專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。
  
  2、要設(shè)置專庫存放,環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。
  
  3、對儀器要小心輕放,避免強烈的沖擊震動,安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性,整個作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器,防止意外發(fā)生。
  
  4、renishaw激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測量,此時檢測結(jié)果將收到很大的影響。
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